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横型実験管状電気炉 FT-201P
卓上に置いて即実験!小型真空炉として使用可能!
レイアウト参考写真
3ゾーン制御型
ガス系等(オプション)及び真空装置(オプション)を接続すればCVD装置の完成
10パターン×10ステップのパソコン通信対応プログラムコントローラーが標準装備(オプションにて16×16プログラム可能)
専用MPCS(オプション)使用にてパソコンリンク可能
MAX1200℃(R:t/c使用時)
電源はA.C100V 1.3Kw 省エネタイプ
標準でブルドン真空計付き
型式
FT-201P
最大温度
1,200℃
使用炉心管
O.D50φ高純度石英管
温度設定精度
±1℃以内
ヒーター
カンタルAF
ヒータードライブ
サイリスター(位相角)
電源
A.C100V 1.3Kw
標準装備
ブルドン真空計
過昇温アラーム
温度プログラム:PC通信対応10パターン×10ステップ デジタルコントローラー
オプション
ガス系フローコントロール
真空排気系(R.Pポンプ他)
排気ガス処理装置
CVD-trAP
高性能パソコンリンクプログラムコントローラー16×16パターン
6chマルチ入力記録計(PC通信対応)
MPCSコンピューター通信ソフトウェア
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